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    1200℃開啟式真空/氣氛管式爐CVD系統(tǒng)(CVD-TF)

    CVD-TF12P50/60/80/100? ?CVD-TF12T50/60/80/100? ?CVD-TF12P50/60/80/100S? ?CVD-TF12T50/60/80/100S
    此款CVD生長系統(tǒng)適用于CVD工藝,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結構的可控生長、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結等實驗。 優(yōu)點 爐膛采用多晶莫來纖維真空吸附制成,溫場均勻節(jié)能50%以上
    自主研發(fā)的空氣導流隔熱技術保證箱內各部件的使用壽命及恒溫效果
    …… 安全性 過升報警、菜單鎖定、過升防止、復電延時
    采用單向閥技術,使氣體流量在可控壓力范圍內控制,保證安全
    ■ 產(chǎn)品特點

    提供具有真空、可控氣氛及高溫的實驗環(huán)境,應用在半導體、納米技術、碳纖維等領域

    使用溫度范圍? ?300~1200℃? ? ? ? ? ? ? 溫度控制 ? ?±1℃? ? ? ? ??管徑φ50φ60φ80φ100

    ■產(chǎn)品特點:

    爐膛采用多晶莫來纖維真空吸附制成,溫場均勻節(jié)能50%以上

    自主研發(fā)的空氣導流隔熱技術保證箱內各部件的使用壽命及恒溫效果

    啟動電爐,排溫風機同時自動運行,試驗結束后,排溫風機將繼續(xù)運行,直至爐體溫度低于60℃,排溫風機自行停止,有效保護了爐體表面

    爐門開啟自動斷電、超溫保護功能、漏電保護功能,以確保使用的安全性

    電路采用連續(xù)加熱輸出方式,雙回路供電,強弱電單獨走線提高了系統(tǒng)的穩(wěn)定性

    加熱模塊采用直流信號調節(jié)輸出功率,避免了感應電對控制信號的干擾

    操作按鍵選用低壓金屬按鈕,自帶狀態(tài)指示燈,操作安全直觀

    上下爐體采用航空插頭連接方式,連接安全方便

    氣路總成采用食品級316不銹鋼制成,具有耐蝕性,耐大氣腐蝕性和耐高溫強度好,無磁性

    采用數(shù)顯流量顯示儀,配合質量流量控制器,采集數(shù)據(jù)并控制流量。重復性好,相應速度快,穩(wěn)定等特點。(氣體質量流量控制系統(tǒng))

    自動控制與手動控制切換功能,自動控制模式能通過設定值自動開啟/關閉真空泵,使容器內保持在一定的真空壓力范圍內。手動控制模式使用用戶通過真空泵開啟/關閉按鈕直接操作真空泵。以滿足不同實驗的需要。(中真空控制系統(tǒng))

    電磁閥緩啟動技術,使電磁閥在真空泵開啟10秒鐘后打開,使爐管內系統(tǒng)壓力保持準確,也保證了廢氣不會返回到爐管系統(tǒng)影響實驗效果(中真空控制系統(tǒng))


    ■安全性:

    過升報警、菜單鎖定、過升防止、復電延時。

    采用單向閥技術,使氣體流量在可控壓力范圍內控制,保證安全。

    采用混氣罐裝置,使氣體可以在充分混合后導入工作室內,確保不會泄露。


    ■ 技術參數(shù)

    1200cvd-TF參數(shù).jpg

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